微透鏡陣列是由通光孔徑及浮雕深度為微米級的透鏡組成的陣列。它和傳統(tǒng)透鏡一樣,最小功能單元也可以是球面鏡、非球面鏡、柱鏡、棱鏡等,同樣能在微光學角度實現(xiàn)聚焦、成像,光束變換等功能,而且因為單元尺寸小、集成度高,使得它能構成許多新型的光學系統(tǒng),完成傳統(tǒng)光學元件無法完成的功能。
可分為折射型微透鏡陣列與衍射型微透鏡陣列兩類。
折射型(ROE)微透鏡陣列:
基于幾何光學的折射原理,光在兩種透明介質交界處(如空氣和玻璃),將向折射率高的區(qū)域彎折。材料的折射率越高,入射光發(fā)生折射的能力越強。通過這個原理,將一個完整的激光波前在空間上分成許多微小的部分,每一部分被相應的小透鏡聚焦在焦平面上,光斑進行重疊,從而實現(xiàn)在特定區(qū)域將光均勻化,對激光束精確整形。其應用主要有光斑整形和光束轉化。
衍射型(DOE)微透鏡陣列:
基于物理光學的衍射原理,光被透鏡陣列的表面浮雕結構調制改變了波前相位,從而實現(xiàn)了光波的調制、變換。激光經(jīng)過每個衍射單元后發(fā)生衍射,并在一定距離(通常為無窮遠或透鏡焦平面)處產(chǎn)生干涉,形成特定的光強分布。
主要應用在光通訊以及醫(yī)療美容等領域,解決高階像差矯正、任意光分布的光斑形狀調制等問題。根據(jù)不同的用途,DOE通??梢苑譃楣馐巍⒎质?、結構光、多焦、其他特殊光束產(chǎn)生等種類。